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E-SCAN 시리즈 제품 SCAN -1 나노 스캐닝 스테이지
μSCAN 시리즈 스캐닝 시스템은 당사에서 최근 출시한 고성능 통합 시스템입니다.전체 기계는 고강성 화강암을 기본으로 사용하고 고성능 선형 모터 및 서보 플랫폼과 협력하며 주로 고정밀 스캐닝, 처리, 테스트 및 기타 응용 프로그램에 사용됩니다.표준 스트로크 파라미터의 선택은 빠른 배송을 지원하여 고객의 조합 미숙으로 인한 조합 불량과 디버깅 미숙으로 인한 성능 저하를 크게 줄입니다.
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E-LMT-XY(고정밀 리니어 모터 스테이지) XY 리니어 모터 모션 스테이지
● 이동 범위 100mm × 100mm 또는 200mm × 200mm
● 0.3 µm의 단방향 반복성
● Ironless 3상 리니어 모터
● 500mm/s 증분 속도
● 4.88nm 분해능의 리니어 엔코더
● 크로스 롤러 가이드
● 리니어 모터
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E-ABW400-X 1차원 에어 플로팅 플랫폼
● 스캐닝 애플리케이션 또는 고정밀 포지셔닝에 이상적
● 클린룸 호환
● 모션 플랫폼의 크기 400mm × 138mm
● 이동 범위 200mm ~ 1000mm
● 5nm까지의 분해능
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E-ABVT-Z 수직축 에어베어링 스테이지
● 수직 이동 범위 20 또는 38mm(1/2″)
● 10nm까지의 포지셔닝 반복성
● 최대 적재량 6kg
● 직접 측정 선형 엔코더 옵션
● 보이스 모터 드라이브
● 에어 베어링 레일, 크로스 볼 레일도 사용 가능
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E-ABL250-X 1차원 초정밀 에어베어링 플랫폼
● 스캐닝 애플리케이션 또는 고정밀 포지셔닝에 이상적
● 클린룸 호환
● 모션 플랫폼의 크기 250mm × 90mm
● 100mm ~ 600mm의 이동 범위
● 최대 적재 용량 200N
● 에어베어링 설계
● E-EC-ABL-X
● 부하 용량을 희생하지 않고 일반적인 에어베어링 스테이지보다 더 작은 단면적을 특징으로 합니다.대형 에어베어링 표면은 뛰어난 강성을 제공하여 무거운 하중을 견딜 수 있습니다.독점 제조
● 기술은 타의 추종을 불허하는 피치, 롤 및 요 특성을 가진 스테이지를 만듭니다.
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E-EC-ABL-X 1차원 에어 플로팅 모션 스테이지
● 완전히 예압된 에어베어링
● 최대 1000mm 이동 가능
● 고정밀 리니어 엔코더 피드백
● 완전한 비접촉 설계
● 뛰어난 속도 안정성을 위한 매우 부드러운 디자인
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E-NLS92-50-1V-B리니어 모터 모션 스테이지 고정밀 리니어 스테이지
● LS90-50-1V-B 특징;
● 초박형 선형 모터 드라이브.스트로크 50mm;
● 매우 작은 크기, 프로필 122mm x 92mm x 18mm;
● 최소 증분 모션 50nm;
● 반복 포지셔닝 정확도: ≤100nm;
● 격자 분해능 1nm(1vpp);
● 정격 추력 5N 최대 추력 16N;
● 수입 크로스 가이드 레일;
● 최대 하중: 4Kg;
● 부드러운 연속 동작, 산업 등급 서비스 수명;
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E-ABT-XY-360X360 (세라믹 리니어 모터 스테이지) XY 에어 베어링 리니어 모터 스테이지
세라믹 버전은 고순도 알루미나를 공기 부유 구조 및 가이드 요소로 사용합니다.화강암 및 금속과 비교하여 알루미나 세라믹은 팽창 계수가 작고 직진성, 경도 및 내마모성이라는 장점이 있습니다.
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E-GLMT-XY(고정밀 리니어 모터 스테이지) XY 리니어 모터 스테이지
● 리니어 모터
● 리니어 모터는 전자기 다이렉트 드라이브입니다.드라이브 트레인의 기계적 구성 요소가 필요 없으며 구동력을 모션 플랫폼에 마찰 없이 직접 전달합니다.드라이브는 높은 속도와 가속도에 도달합니다.철 없는 모터는 영구 자석과 바람직하지 않은 상호 작용이 없기 때문에 정밀도가 가장 많이 요구되는 포지셔닝 작업에 특히 적합합니다.이를 통해 최저 속도에서도 원활하게 작동할 수 있으며 동시에 높은 속도에서도 진동이 없습니다.제어 동작의 비선형성을 방지하고 모든 위치를 쉽게 제어할 수 있습니다.구동력을 자유롭게 설정할 수 있습니다.
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E-EC-ABL-X 1차원 에어 플로팅 정밀 선형 스테이지
E-EC-ABL-X 시리즈 리니어 모터 플랫폼은 철심 리니어 모터와 결합된 에어 베어링 가이드 레일 방식을 채택하여 기존의 기계식 가이드 레일과 비교할 수 없는 진직도와 평탄도를 가지고 있으며 특히 작은 스텝 거리 또는 초소형에 적합합니다. 정확한 포지셔닝 애플리케이션 시나리오.정밀 광학 디버깅, 설치 및 처리를 위한 탁월한 애플리케이션 선택입니다.
● 에어베어링 리니어 가이드는 평탄도와 진직도가 매우 우수합니다.
● 철심 리니어 모터는 충분한 시스템 강성과 동적 성능을 보장합니다.
● 매우 낮은 소음으로 조용하고 안정적인 작동
● 매우 높은 수준의 정밀 성능을 가지고 있습니다.
● 스캐닝 애플리케이션 또는 고정밀 포지셔닝에 이상적
● 클린룸 호환
● 모션 플랫폼의 크기 210mm × 100mm
● 이동 범위 200mm ~ 500mm
● 100nm 또는 1nm의 분해능
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E-LMS250GT-X(리니어 포지셔닝 스테이지) 1차원 리니어 모터 모션 스테이지
E-LMS250GT-X 리니어 모터 플랫폼은 고강성 리니어 롤러 가이드 레일과 철심 리니어 모터와 함께 고품질 화강암을 베이스로 사용합니다.
편평도, 진직도, 부하용량이 우수한 기계는 일반적으로 대형 모바일 포지셔닝 장비의 기본 모듈로 사용됩니다.
● 화강암 기반, 우수한 강성과 안정성, 높은 평탄도.
● C-LUBE 기술이 적용된 리니어 가이드 레일, 최대 5년 무급유 주기.
●고효율, 비접촉 모터, 고속 및 초고속 안정성.
● 우수한 확장 스트로크 및 부하 용량.
● 고객 생산 요구 사항에 따라 빠른 배송.
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E-NLS60-32-1V-B NLS 초박형 미니 리니어 모션 스테이지
● NLS 시리즈는 고해상도 그레이팅과
● 미니 정밀 크로스 롤러 가이드
● 작은 크기에도 UMS 시리즈와 동일한 고정밀도와 고역동성을 가지고 있습니다.볼륨에 매우 민감한 일부 애플리케이션 시나리오에 특히 적합합니다.
● 비접촉 다이렉트 드라이브 모터, 초고정밀 및 뛰어난 동적 성능
● Ironless 모터, 속도 변동이 1000분의 1 이하(지정형 드라이브와 조합, 실험실 환경 시험 데이터)
● 마이크로 스텝 제어를 보장하는 조용하고 크리핑 방지 가이드 레일
● 긴 서비스 수명, 장기간 유지 보수가 필요 없는 사용
