•클린룸 호환
•세로 또는 가로로 장착 가능
•다이렉트 드라이브, 로터리 에어베어링 스테이지
•아날로그 및 디지털 위치 피드백
제품 개요
동급 최강의 회전 동작을 제공하여 고정밀 프로세스를 최적화하도록 돕습니다.
축 방향, 방사형 및 기울기 오류 동작을 최소화하여 부품의 광범위한 후처리 필요성을 줄이고
측정 데이터
고해상도 피드백으로 뛰어난 포지셔닝 성능과 속도 안정성 제공
초정밀 모션 성능에 기여하는 새롭고 비영향적인 모터 설계가 특징입니다.
동작 품질을 손상시키지 않으면서 넉넉한 부하 용량을 제공합니다.
소형 경량 폼 팩터로 인해 정밀 시스템 및 기계에 쉽게 통합되며 수평 및
수직 장착 및 하중 지지 기능