XY 스테이지는 고속 및 10nm 분해능을 제공합니다.

소식

XY 스테이지는 고속 및 10nm 분해능을 제공합니다.

새로운 통합 XY 스테이지 — 소형 고속 포지셔닝 스테이지 목록의 일부입니다.

이러한 모든 포지셔닝 단계는 초음파 피에조 선형 모터로 구동됩니다. 이 모터는 부드러운 동작, 고해상도 및 빠른 단계 및 정착 응답을 제공하는 특허 모터입니다.

 

EMSLM-120X100-INXY-E50 도립 현미경 리니어 모터 스테이지1

모터에는 전원 없이 플랫폼을 제자리에 고정하는 자체 클램핑 드라이브가 있어 위치 안정성과 낮은 전력 소비가 중요한 응용 분야에 유용합니다.
긴 이동 거리와 컴팩트한 구조로 넓은 다이내믹 레인지 보완
ELMTMINI XY 스테이지는 42 x 42mm(1.6 x 1.6인치)의 설치 공간으로 축당 0.8인치 이동을 제공합니다.21mm의 로우 프로파일과 소형 디자인으로 좁은 공간에 쉽게 통합할 수 있습니다.고해상도(10나노미터 선형 엔코더) 외에도 최대 200mm/초의 고속 모션과 빠른 단계 안정 성능을 제공합니다.

하이엔드 모션 컨트롤러 및 소프트웨어 패키지
고해상도 및 원활한 작동을 유지하면서 밀리초 범위의 정착 시간으로 우수한 동적 성능을 제공하는 작동 원리를 활용하기 위해 초음파 모터는 여러 정적 및 동적 PID 매개변수 세트와 적응 주파수 간의 자동 전환과 같은 고급 제어 전략의 이점을 얻습니다. 추적.PI는 다양한 초음파 모션 컨트롤러를 제공합니다(데스크탑, 랙 마운트 및 OEM 구성으로 사용 가능. 모션 컨트롤 알고리즘이 포함된 ASIC 칩은 OEM 고객도 사용할 수 있습니다. 포괄적인 소프트웨어 패키지 포함: LabVIEW용 드라이버 및 예제 프로그램, Windows 및 Linux용 동적 라이브러리, MATLAB을 사용할 수 있으며 인터페이스에는 TCP/IP, USB, RS-232 및 아날로그가 포함됩니다.
초음파 미니 리니어 스테이지 제품군 사양
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게시 시간: 2023년 4월 12일