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리니어 서보 모터가 장착된 고성능 XY 스테이지
23-02-05에 관리자에 의해
새로운 XY 스테이지 설계를 통해 직교성, 직진성 및 편평도와 같은 중요한 요소를 최적화할 수 있어 예외적인 기하학적 공차가 있는 스테이지가 생성됩니다.코어리스 리니어 서보 모터를 사용한 다이렉트 드라이브 기술은 히스테리시스 또는 백래시가 없어...
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