새로운 XY 스테이지 설계를 통해 직교성, 직진성 및 편평도와 같은 중요한 요소를 최적화할 수 있어 예외적인 기하학적 공차가 있는 스테이지가 생성됩니다.코어리스 리니어 서보 모터를 사용한 다이렉트 드라이브 기술은 히스테리시스 또는 백래시가 없어 X 및 Y 방향 모두에서 정확하고 반복 가능한 나노미터 스케일 모션을 가능하게 합니다.
비접촉 다이렉트 드라이브 기술은 정밀 기기의 대량 생산에 필요한 강력하고 정확한 고속 포지셔닝을 제공합니다.이 XY 스테이지는 고급 다이렉트 드라이브 기술을 사용하여 최고 수준의 포지셔닝 성능을 달성합니다.비접촉 리니어 엔코더로 정확한 포지셔닝이 보장됩니다.모터와 인코더는 백래시를 제거하기 위해 직접 연결됩니다.
특징은 다음과 같습니다
★다이렉트 드라이브 리니어 모터
★0.1미크론의 분해능
★0.25미크론까지의 반복성
★5미크론의 절대 정확도
★최대 속도 1.5m/초
★최대 가속도 1.5G
★작업 거리 300 x 300mm
작은 프로필과 설치 공간에 패키지된 드라이브와 베어링 조합은 고정밀 위치 지정, 디스크 드라이브 제조, 섬유 정렬, 광학 지연 요소 작동, 센서 테스트 및 스캐닝 프로세스와 같은 많은 응용 분야에서 실질적인 이점을 제공합니다. 정확한 움직임.이 스테이지는 다른 수직 및 회전 스테이지와 결합할 수도 있습니다.
게시 시간: 2023년 2월 5일