제품
E-LMT-XYZ(고정밀 리니어 모터 XYZ 축 스테이지
| 사양 | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20(에어베어링레일) |
| 모터 유형 | 삼상 무철전동기 | 보이스 코일 모터+ |
| 해결 | 기본 100nm 디지털 수량 | 5nm까지 1vpp |
| 모터 추력 | 연속 60N/피크 210N | 연속 60N/피크 210N |
| 최소 단계 크기[nm] | 200nm | 100nm |
| 여행 [mm] | 200×200 | 10 |
| 반복성 [um] | ±0.3 | |
| 위치 정확도 [um] | ±1 | ±0.5 |
| 평탄도 [um] | 10um | 5um |
| 진직도 [um] | 1um | 1um |
| 최대 속도 [mm/s] | 500mm/s | 30mm/s |
| 적재 능력 [kg] | 5kg(공압식 정력 밸런스 웨이트가 있는 Z축) | |
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