FSM은 응용 분야의 특정 요구 사항에 따라 금속(알루미늄 또는 베릴륨) 또는 실리콘 카바이드 기판을 사용합니다.당사는 기본 금속 코팅에서 고에너지 레이저(HEL) 응용 분야용으로 설계된 고반사 유전체 코팅에 이르기까지 거의 모든 코팅 요구 사항이 있는 미러를 제공할 수 있습니다.BlueHalo FSM은 높은 가속도를 제공합니다.FSM의 1”-2” 클래스에 대해 >10,000 radians/sec2.당사의 FSM은 고대역폭(크기에 따라 >1kHz 광학 또는 위치)을 달성하고 <1µrad의 낮은 지터를 제공합니다.
거울 크기 | 4인치 | 6인치 | 8 인치 | 10인치 | >10인치 | 4인치 | 6인치 | 8 인치 | 10인치 | >10인치 |
해결 | 1~3μrad | 3~5μ라드 | 1~3μrad | |||||||
폐루프 대역폭 | 100~300Hz(@1%트래블) | 10 ~ 200Hz(@1%트래블) | ||||||||
단계 응답 | 4~10ms(@1%트래블) | 3 ~ 30ms(@1%이동) | ||||||||
각도 범위 | ≤ ±25mrad | |||||||||
반복성 | ≤±5μrad | ≤±3 ~ ±10μrad | ||||||||
작동 온도 | -40℃ ~ 70℃ | |||||||||
보관 온도(℃) | -55℃ ~ 85℃ | |||||||||
진동 방지 | GJB 150.16A-2009 | |||||||||
충격 방지 | GJB 150.18A-2009 |