제품
할로우 보이스 코일 미러
FSM(Fast Steering Mirror)의 맞춤형 디자인 또는 인쇄용 고속 스티어링 미러(FSM)는 레이저 빔 또는 기타 광원을 향하도록 기울어진 굴곡 지지 시스템에 장착된 미러를 통합합니다.완전한 정밀도와 낮은 지터 기능을 위한 방향성 동작을 제공하기 위해 음성 코일 액추에이터 또는 와전류 센서 세트가 사용됩니다.
시스템은 개방 루프 및 폐쇄 루프 작동을 제공합니다.폐쇄 루프 작동의 경우 통합 고속 정밀 센서를 사용하여 완전한 피드백 제어 시스템을 제공합니다.모듈식 설계를 통해 FSM은 미러 기판 선택, 조리개 크기, 기울기 각도 및 제어 전자 장치의 유연성을 높여 모든 임무 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
| 클리어 조리개 | 30mm | φ30~φ50mm | φ50~φ100mm | >φ100mm |
| 입사각 | 45인치 이하 | |||
| 각도 범위 | ←±25mrad | |||
| 거울 크기 | φ60mm | φ90mm | φ150mm | 《φ240mm |
| 해결 | 2μrad | |||
| 폐루프 대역폭 | ≥600Hz(@1%이동) | 300Hz(@1%트레블 ) | 150Hz(@1% 트래블) | 100Hz(@1%트래블) |
| 응답 중단 | <1.5ms(@1%이동) | <3ms(@1% 이동) | <5ms( @1% 이동) | 10ms(@1%이동) |
| 반복성 | 2urad ~5urad | |||
| 작동 온도 | -40℃~70℃ | |||
| 보관 온도 | -55℃~85℃ | |||
| 진동 방지 | GJB 150.16A-2009 | |||
| 충격 방지 | GJB 150.18A-2009 |
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