제품
E-UMS130-X(고정밀 Linear Motorized Translation Stage)
E-UMS130-X 시리즈는 크립 방지 기능이 있는 고정밀 크로스 롤러 가이드 레일을 채택하고 리니어 모터 및 고해상도 격자 스케일과 협력하며 작은 크기, 큰 하중 및 저소음의 이점을 가지고 있습니다.크리프 방지 크로스 롤러 가이드웨이는 미세 단계 이동이 필요한 응용 분야에 특히 적합합니다.
고성능 구동 제어 시스템은 10nm의 스텝 크기에서 안정적으로 나올 수 있으며, 이는 일반 리니어 가이드 레일 리니어 모터 플랫폼에서 보장하기 어려운 중요한 성능입니다.따라서 UMS130-X 시리즈는 고정밀 포지셔닝, 감지, 노출 및 마이크로 프로세싱 애플리케이션 시나리오에 특히 적합합니다.
● 비접촉 다이렉트 드라이브 모터, 초고정밀 및 뛰어난 동적 성능;
● 아이언리스 모터, 속도 변동은 1/1000 미만입니다(지정된 유형의 드라이브, 실험실 환경 테스트 데이터와 결합).
● 마이크로 스텝 제어를 보장하는 조용하고 크리프 방지 가이드 레일;
● 긴 서비스 수명, 장기간 유지 보수가 필요 없는 사용;
인크리멘탈 리니어 엔코더로 고정밀 위치 측정
비용 효율적인 증분형 엔코더, 계측 등급 증분형 엔코더 및 절대 측정 엔코더를 선택할 수 있습니다(전원을 켤 때 참조 필요 없음).스테이지의 선형 위치는 고정 베이스에 대한 이동 플랫폼에서 직접 측정되기 때문에 모터/리드스크류 조합에서 흔히 볼 수 있는 드라이브 트레인의 백래시, 기계적 유격 또는 변형은 접촉(직접 계측) 없이 위치 정확도에 영향을 미치지 않습니다. .
크로스 롤러 가이드
교차 롤러 가이드를 사용하면 볼 가이드에서 볼의 점 접촉이 경화 롤러의 선 접촉으로 대체됩니다.결과적으로 훨씬 더 단단하고 더 적은 예압이 필요하므로 마찰이 줄어들고 더 부드럽게 작동할 수 있습니다.크로스 롤러 가이드는 높은 가이드 정확도와 하중 용량으로도 구별됩니다.Force-guided 롤링 요소 케이지는 케이지 크리프를 방지합니다.
다축 스테이지 조합: XY 및 XYZ
2축 및 3축 스테이지 조합이 가능합니다.XY 테이블은 2개의 단일 축 스테이지를 쌓아 구축할 수 있으며, 무게 힘 보상이 있는 맞춤형 Z축은 XYZ 변환 스테이지 조합에 사용할 수 있습니다.또 다른 Z축 옵션은 사용자 조정이 가능한 통합 자기 균형이 있는 매우 컴팩트한 UMS130-X 수직 선형 스테이지입니다.
응용 분야
산업 및 연구.계측학.반도체 또는 평판 디스플레이 제조의 포토닉스 및 정밀 스캐닝.
| 사양 | UMS130-60X | -110X | -160X |
| 모터 유형 | 삼상 무철전동기 | ||
| 인코더 유형 | 증분 엔코더 0.1um(최대 1nm 엔코더 옵션, 앱솔루트 옵션) | ||
| 모터 추력 | 정격 40N 피크 90N | ||
| 가속(무부하) | 3G | 2.5G | 2G |
| 위치 제한 유형 | 기계, 광전, 소프트웨어(삼중 제한 보호) | ||
| 재료 | 알루미늄 합금 6061-T6(옵션 스테인리스 스틸) | ||
| 이동 범위 mm | 60 | 110 | 160 |
| 정확도 음 | ±3um(보정 ±0.5um) | ||
| 반복성 정확도 um | ±0.1um(±50nm는 5nm 이상의 격자에 해당) | ||
| 최대 속도 mm/s | 300mm/초 | ||
| 최대 적재량 kg | 6 | 8 | 12 |
1) MOQ는 무엇입니까?
A: MOQ는 1 PC입니다.
대량 주문 전에 고객이 품질을 확인할 수 있도록 샘플을 사용할 수 있습니다.
2) OEM을 수락합니까?
A: 그렇습니다, OEM와 ODM는 온난하게 환영됩니다.
그것은 우리 회사의 강점이며 고객의 요구 사항을 완전히 충족시킬 수 있도록 LCD 모니터를 사용자 정의할 수 있습니다.
3) 귀사는 어떤 지불 방법을 허용합니까?
A: T/T, 웨스턴 유니온, 페이팔 및 L/C.
4) 배달 시간은 무엇입니까?
A: 견본: 2-7 작업 일.대량 주문 7-25일.
맞춤형 제품의 경우 배송 시간은 협상 가능합니다.
우리는 당신의 배달 시간을 맞추기 위해 최선을 다할 것입니다.
