E-EC-ABL-X 1차원 에어 플로팅 정밀 선형 스테이지

제품

E-EC-ABL-X 1차원 에어 플로팅 정밀 선형 스테이지

간단한 설명:

E-EC-ABL-X 시리즈 리니어 모터 플랫폼은 철심 리니어 모터와 결합된 에어 베어링 가이드 레일 방식을 채택하여 기존의 기계식 가이드 레일과 비교할 수 없는 진직도와 평탄도를 가지고 있으며 특히 작은 스텝 거리 또는 초소형에 적합합니다. 정확한 포지셔닝 애플리케이션 시나리오.정밀 광학 디버깅, 설치 및 처리를 위한 탁월한 애플리케이션 선택입니다.

● 에어베어링 리니어 가이드는 평탄도와 진직도가 매우 우수합니다.

● 철심 리니어 모터는 충분한 시스템 강성과 동적 성능을 보장합니다.

● 매우 낮은 소음으로 조용하고 안정적인 작동

● 매우 높은 수준의 정밀 성능을 가지고 있습니다.

● 스캐닝 애플리케이션 또는 고정밀 포지셔닝에 이상적

● 클린룸 호환

● 모션 플랫폼의 크기 210mm × 100mm

● 이동 범위 200mm ~ 500mm

● 100nm 또는 1nm의 분해능


제품 상세 정보

사양

자주하는 질문

제품 태그

제품 개요

E-EC-ABL-X 1차원 에어 플로팅 모션 스테이지1 (1)

스테이지에는 사전 로드된 에어 베어링과 통합된 리니어 엔코더가 있는 서보 드라이브 리니어 모터가 장착되어 있습니다.이러한 비접촉 구성 요소의 결합으로 최고의 성능, 품질 및 수명을 제공하는 마찰 없는 모션 플랫폼이 탄생했습니다.

고출력 리니어 모터는 몇 밀리초 내에 스테이지를 최고 속도로 구동할 수 있으며 고용량 베어링은 최대 10kg의 페이로드를 지원할 수 있습니다.이 모델의 횡대향 능동 예압 에어 베어링 설계는 모든 방향으로 장착할 수 있습니다.

액세서리 및 옵션

● 인코더;

● 필터 및 공기 준비 키트;

● 단일 및 다축 모션 컨트롤러;

● 공압 잠금/잠금 해제 옵션;

● XY 설정 및 개별 구성;

● 케이블 트랙 변형;

● 수직(Z) 방향용 카운터웨이트 옵션;

● 사용자 정의 가능;

● 화강암으로 만들어진 베이스 플레이트와 진동 감소 시스템;

응용 분야

E-EC-ABL-X 1차원 에어 플로팅 모션 스테이지1 (2)

포지셔닝 시스템은 반도체 또는 평면 패널 디스플레이 제조의 계측, 포토닉스 및 정밀 스캐닝과 같은 많은 고정밀 응용 분야에 이상적입니다.

마찰 없는 움직임 덕분에 파티클이 형성되지 않아 클린룸 응용 분야에 이상적인 스테이지가 됩니다.


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  • 다음:

  • 사양 EC-ABL-200 -300 -400 -500
    모터 유형 철심 리니어 모터
    광학 인코딩 해상도 기본 0.1um(아날로그 옵션, 최대 1nm)
    모터 추력 연속 90N/피크 190N
    가속(무부하) 5G
    여행 [mm] 100 200 300 400
    반복성 정확도 [um] ≤±0.2um(옵션인 5nm 격자인 경우 최대 ±50nm)
    정확도 [음] 2um/100mm (교정 후 0.5um/100mm 이하)
    평탄도 [um] ≤±0.4 ≤±0.5 ≤±0.7 ≤±0.8
    진직도 [um] ≤±0.5
    최대 속도 [mm/s] 1000(드라이브 및 스트로크에 따라 다름)
    최대 적재량 [kg] 10kg

    E-EC-ABL-X

     

    1) MOQ는 무엇입니까?
    A: MOQ는 1 PC입니다.
    대량 주문 전에 고객이 품질을 확인할 수 있도록 샘플을 사용할 수 있습니다.

    2) OEM을 수락합니까?
    A: 그렇습니다, OEM와 ODM는 온난하게 환영됩니다.
    그것은 우리 회사의 강점이며 고객의 요구 사항을 완전히 충족시킬 수 있도록 LCD 모니터를 사용자 정의할 수 있습니다.

    3) 귀사는 어떤 지불 방법을 허용합니까?
    A: T/T, 웨스턴 유니온, 페이팔 및 L/C.

    4) 배달 시간은 무엇입니까?
    A: 견본: 2-7 작업 일.대량 주문 7-25일.
    맞춤형 제품의 경우 배송 시간은 협상 가능합니다.
    우리는 당신의 배달 시간을 맞추기 위해 최선을 다할 것입니다.

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