스테이지에는 사전 로드된 에어 베어링과 통합된 리니어 엔코더가 있는 서보 드라이브 리니어 모터가 장착되어 있습니다.이러한 비접촉 구성 요소의 결합으로 최고의 성능, 품질 및 수명을 제공하는 마찰 없는 모션 플랫폼이 탄생했습니다.
고출력 리니어 모터는 몇 밀리초 내에 스테이지를 최고 속도로 구동할 수 있으며 고용량 베어링은 최대 10kg의 페이로드를 지원할 수 있습니다.이 모델의 횡대향 능동 예압 에어 베어링 설계는 모든 방향으로 장착할 수 있습니다.
● 인코더;
● 필터 및 공기 준비 키트;
● 단일 및 다축 모션 컨트롤러;
● 공압 잠금/잠금 해제 옵션;
● XY 설정 및 개별 구성;
● 케이블 트랙 변형;
● 수직(Z) 방향용 카운터웨이트 옵션;
● 사용자 정의 가능;
● 화강암으로 만들어진 베이스 플레이트와 진동 감소 시스템;
포지셔닝 시스템은 반도체 또는 평면 패널 디스플레이 제조의 계측, 포토닉스 및 정밀 스캐닝과 같은 많은 고정밀 응용 분야에 이상적입니다.
마찰 없는 움직임 덕분에 파티클이 형성되지 않아 클린룸 응용 분야에 이상적인 스테이지가 됩니다.
사양 | EC-ABL-200 | -300 | -400 | -500 |
모터 유형 | 철심 리니어 모터 | |||
광학 인코딩 해상도 | 기본 0.1um(아날로그 옵션, 최대 1nm) | |||
모터 추력 | 연속 90N/피크 190N | |||
가속(무부하) | 5G | |||
여행 [mm] | 100 | 200 | 300 | 400 |
반복성 정확도 [um] | ≤±0.2um(옵션인 5nm 격자인 경우 최대 ±50nm) | |||
정확도 [음] | 2um/100mm (교정 후 0.5um/100mm 이하) | |||
평탄도 [um] | ≤±0.4 | ≤±0.5 | ≤±0.7 | ≤±0.8 |
진직도 [um] | ≤±0.5 | |||
최대 속도 [mm/s] | 1000(드라이브 및 스트로크에 따라 다름) | |||
최대 적재량 [kg] | 10kg |
1) MOQ는 무엇입니까?
A: MOQ는 1 PC입니다.
대량 주문 전에 고객이 품질을 확인할 수 있도록 샘플을 사용할 수 있습니다.
2) OEM을 수락합니까?
A: 그렇습니다, OEM와 ODM는 온난하게 환영됩니다.
그것은 우리 회사의 강점이며 고객의 요구 사항을 완전히 충족시킬 수 있도록 LCD 모니터를 사용자 정의할 수 있습니다.
3) 귀사는 어떤 지불 방법을 허용합니까?
A: T/T, 웨스턴 유니온, 페이팔 및 L/C.
4) 배달 시간은 무엇입니까?
A: 견본: 2-7 작업 일.대량 주문 7-25일.
맞춤형 제품의 경우 배송 시간은 협상 가능합니다.
우리는 당신의 배달 시간을 맞추기 위해 최선을 다할 것입니다.