스테이지에는 사전 로드된 에어 베어링과 통합된 리니어 엔코더가 있는 서보 드라이브 리니어 모터가 장착되어 있습니다.이러한 비접촉 구성 요소의 결합으로 최고의 성능, 품질 및 수명을 제공하는 마찰 없는 모션 플랫폼이 탄생했습니다.
고출력 선형 모터는 몇 밀리초 내에 스테이지를 최고 속도로 구동할 수 있으며 고용량 베어링은 최대 20kg의 페이로드를 지원할 수 있습니다.이 모델의 횡대향 능동 예압 에어 베어링 설계는 모든 방향으로 장착할 수 있습니다.
● 인코더
● 필터 및 공기 준비 키트
● 단축 및 다축 모션 컨트롤러
● XY 설정 및 개별 구성
● 케이블 트랙 변형
● 수직(Z) 방향용 카운터웨이트 옵션
● 사용자 정의 가능
● 화강암 베이스 플레이트 및 진동 저감 시스템
포지셔닝 시스템은 반도체 또는 평판 디스플레이 제조의 계측, 포토닉스 및 정밀 스캐닝과 같은 많은 고정밀 응용 분야에 이상적으로 적합합니다.
마찰 없는 움직임 덕분에 파티클이 형성되지 않아 클린룸 응용 분야에 이상적인 스테이지가 됩니다.
사양 | ABW400-200 | -300 | -400 | -600 | -800 | -1000 |
유효 이동 [mm] | 200 | 300 | 400 | 600 | 800 | 1000 |
Opticval Encode 분해능 [nm] | 5nm Opticval Encode 해상도 | |||||
반복성 정확도 [nm] | ±100 | ±100 | ±150 | ±200 | ±300 | ±350 |
정확성 | 2um/100mm (교정 후 0.3um/100mm 미만일 수 있음) | |||||
진직도 [um] | ±0.4 | ±0.5 | ±0.6 | ±0.75 | ±1 | ±1.5 |
평탄도 [um] | ±0.4 | ±0.6 | ±1 | ±1.5 | ||
최대 속도 | 2m /s | |||||
최대 가속도(무부하) | 2G | |||||
내하중-수평 [kg] | 35kg | |||||
내하중-측 [kg] | 20kg |
1) 공장 또는 무역 회사입니까?
A: 우리는 중국에 있는 공장입니다.
2)귀사 제품의 보증 기간은 얼마나 됩니까?
A: 보증 기간은 1년입니다.
3) 맞춤형 제품 서비스를 제공합니까?
A: 그렇습니다, 우리는 제공해서 좋습니다, 우리는 당신이 원하는 크기, 간격 및 구조에 따라 디자인하고 생성해서 좋습니다.
4) 제품을 사용자 정의할 수 있습니까?
A: 우리는 고객에게 최고의 엔지니어링 모션 솔루션을 제공합니다.많은 경우에 여기에는 표준 제품을 클라이언트의 고유한 응용 프로그램 및 사양에 맞게 사용자 지정하거나 구성하는 작업이 포함됩니다.표준 제품 중 하나를 맞춤화 또는 구성하는 데 관심이 있거나 피드백 소스의 요구 사항을 충족하는 고유한 솔루션을 설계하기 위해 엔지니어링 팀과 협력하려면 당사에 문의하십시오.이 속도를 초과하면 정류 초기화가 더 이상 유효하지 않으며 정류를 다시 초기화해야 합니다.