제품
E-ABVT-Z 수직축 에어베어링 스테이지
로우 프로파일, 고정밀 수직 변환 스테이지 플랫폼
E-ABVT-Z 수직 보이스 모터 스테이지 플랫폼은 최대 6kg의 하중에 대해 마이크론 미만의 해상도로 고정밀 Z축 모션을 제공합니다.수직으로 장착된 리니어 스테이지와 달리 고강성 플랫폼 개념은 베어링 성능 및/또는 모션 직진성에 영향을 미칠 수 있는 모멘트 하중을 피하면서 페이로드에 360도 접근할 수 있는 훨씬 더 낮은 프로필을 허용합니다.
수직 스테이지 플랫폼 설계는 수직으로 장착된 선형 포지셔닝 스테이지에 비해 더 나은 피치 및 요 성능과 함께 우수한 직진성과 평탄도를 제공합니다. 여기서 캔틸레버 하중이 지지 선형 베어링에서 편향을 유발할 수 있습니다.
보이스 서보 모터를 사용한 고해상도 리니어 모션E-ABVT-Z는 보이스 코일 모터에 의해 내부적으로 구동되며, 공중 부양 이송 레일(크로스 볼 가이드 레일도 사용 가능)이 장착되어 있으며 고해상도 그레이팅을 사용하여 루프, 고성능 드라이버를 장착하여 포지셔닝 스테이지의 최소 변위 및 반복성을 보장합니다.훌륭한 성능을 달성합니다.
컴퓨터 제어, 소프트웨어, 프로그래밍
단일 축 및 다축 고성능 모션 컨트롤러를 선택하여 E-ABVT-Z 시리즈 Z 스테이지를 작동할 수 있습니다.Precision-stage는 시운전 및 손쉬운 작동을 위한 드라이버 및 소프트웨어와 널리 사용되는 프로그래밍 언어로 된 프로그램 예제를 제공합니다.일치하는 제어 전자 장치에 대한 자세한 내용은 기술 사양 표에서 모션 및 포지셔닝 컨트롤러 권장 사항을 참조하십시오.
다축 스테이지 조합
● E-ABVT-Z 수직 포지셔닝 스테이지는 전동 장거리 리니어 스테이지 및 통합 전동 XY 테이블과 결합하여 다축 정밀 모션 시스템을 구성할 수 있습니다.
● 기타 엘리베이션 스테이지 옵션 – 더 긴 트래블/고해상도
● Incremental Linear Encoder로 고정밀 위치 측정
● 비접촉식 광학 인코더는 움직이는 플랫폼에서 가장 정확하게 위치를 직접 측정합니다.
● 비선형성, 기계적 유격 또는 탄성 변형은 측정에 영향을 미치지 않습니다.
● E-ABVT-Z 수직 리프트 스테이지의 적용 분야
● 로우 프로파일 설계 및 고성능 모션 기능을 기반으로 하는 UPL 수직 리프트 스테이지 제품군은 광학 검사, 표면 계측, 반도체 웨이퍼와 같이 고해상도 및 반복성과 함께 매우 직선적이고 부드러운 수직 모션이 필요한 애플리케이션에 탁월한 선택입니다. 고정밀 기계, 전기 및 광학 부품의 검사, 고정밀 장치 정렬 및 품질 관리 프로세스.
| 사양 | ABVT-Z20 | -Z38 |
| 모터 유형 | 보이스 코일 모터 | |
| 광학 인코딩 해상도 | sincos 4.88nm(다른 고해상도는 옵션임) | |
| 모터 추력 | 연속 27N/피크 119N | 연속 45N/피크 192N |
| 최소 단계 크기[nm] | 10nm(nanopwm 또는 선형 드라이버 사용) | |
| 여행 [mm] | 20 | 38 |
| 반복성 정확도 [um] | ±50nm | |
| 정확도 [음] | ±150nm | |
| 평탄도 [um] | 1um | 1.5um |
| 진직도 [um] | 0.5um | 0.7um |
| 최대 속도 [mm/s] | 50mm/s | |
| 최대 적재량 [kg] | 6kg(공압식 정압 스프링 밸런스) | |
1) 배송 방법은 무엇입니까?
A: 우리는 고객의 요구에 따라 상품을 발송할 것입니다.
일반적으로 DHL, UPS, Fedex, TNT를 이용합니다.
대량 주문의 경우 항공, 해상 운송도 가능합니다.
2) 회사 경험은 어떻습니까?
A: 역동적인 팀으로서 이 시장에서 12년 이상의 경험을 통해 우리는 계속해서 연구하고 고객으로부터 더 많은 지식을 배우고 이 시장에서 중국에서 가장 크고 전문적인 공급업체가 될 수 있기를 바랍니다.
3) 제품 품질은 어떻습니까?
A: 우리는 엄격한 품질 관리 시스템을 가지고 있습니다.
우리 공장에서 주문한 모든 제품은 전문 품질 관리 팀에서 검사합니다.
